Augstas temperatūras vakuuma komponenti
Termiskā apstrāde galvenokārt ietver oksidācijas, difūzijas un atkausēšanas procesus.Oksidēšana ir piedevu process, kurā silīcija vafeles ievieto augstas temperatūras krāsnī un pievieno skābekli, lai ar tām reaģētu, veidojot silīcija dioksīdu uz vafeles virsmas.Difūzija ir vielu pārvietošana no augstas koncentrācijas zonas uz zemas koncentrācijas apgabalu, izmantojot molekulāro termisko kustību, un difūzijas procesu var izmantot, lai leģētu specifiskas dopinga vielas silīcija substrātā, tādējādi mainot pusvadītāju vadītspēju.
